Durch Frequenzkonversion sind damit Wellenlängen bis hinunter zu 193 nm ( 4. Harmonische ) verfügbar.
Damit sind auch at-wavelength-Messungen an aktuellen und zukünftigen Photomasken für die 193 nm Lithographie möglich.
Das System ist insbesondere zur Messung von 6 Zoll Photomasken konzipiert, kann aber auch z. B. zur Charakterisierung von strukturierten Wafern, Liniengittern oder diffraktiven Optiken eingesetzt werden.
www.ptb.deVia frequency conversion wavelengths down to 193 nm ( 4. harmonic ) are available.
Hence, also at-wavelength-metrology at state-of-the-art and future photomasks for 193 nm lithography are possible.
The system is designed especially for measurements of 6 inch photomasks.
www.ptb.deDas neue EUV-Strahlrohr ist besonders geeignet zur Untersuchung von Photodetektoren und strukturierten optischen Elementen und wird nach der Commissioning-Phase seit Anfang dieses Jahres zunehmend für Messungen im Rahmen von Forschungskooperationen insbesondere zur EUVL eingesetzt.
"Unsere große Stärke, die bei den Kooperationspartnern sehr gut ankommt, sind die sogenannten At-wavelength-Messungen.
www.ptb.deThe new EUV beamline is particularly suited for the investigation of photodetectors and structured optical elements and has - after the commissioning phase - been increasingly used since the beginning of this year for measurements within the scope of research cooperations, in particular for EUVL.
"Our greatest strength - which is very well received by the cooperation partners - consists in the so-called "At-wavelength measurements".
www.ptb.deDas neue EUV-Strahlrohr ist besonders geeignet zur Untersuchung von Photodetektoren und strukturierten optischen Elementen und wird nach der Commissioning-Phase seit Anfang dieses Jahres zunehmend für Messungen im Rahmen von Forschungskooperationen insbesondere zur EUVL eingesetzt.
"Unsere große Stärke, die bei den Kooperationspartnern sehr gut ankommt, sind die sogenannten At-wavelength-Messungen.
www.ptb.deThe new EUV beamline is particularly suited for the investigation of photodetectors and structured optical elements and has - after the commissioning phase - been increasingly used since the beginning of this year for measurements within the scope of research cooperations, in particular for EUVL.
"Our greatest strength - which is very well received by the cooperation partners - consists in the so-called " At-wavelength measurements ".
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